年产1000吨三氟化氮项⽬（特⽓⾏业纯度99.996%)

三氟化氮（நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு, 化学式NF3, 是⼀种强氧化剂。作为⼀种重要的⼯业特种⽓体,具有⚄
在微电⼦⼯业中，三氟化氮是⼀种优良的等离⼦蚀刻⽓体,在半导体芯显⽰器、光纤、光伏电池等制造领域，三氟化氮主要⽤作等离⼦蚀刻⽓体体清洗剂。它还可以⽤于⾼能化学激光器，通过与氢反应在瞬间放出,应⽤。三氟化剂和推进可

நைட்ரஜன் ட்ரைஃபுளோரைடு, NF3 என்ற இரசாயன சூத்திரம், ஒரு வலுவான ஆக்சிஜனேற்ற முகவர். ஒரு முக்கியமான தொழில்துறை சிறப்பு வாயுவாக, இது பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது.
மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில், நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு ஒரு சிறந்த பிளாஸ்மா பொறிக்கும் வாயு ஆகும்; செமிகண்டக்டர் சிப், பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளே, ஆப்டிகல் ஃபைபர், ஃபோட்டோவோல்டாயிக் செல்கள் மற்றும் பிற உற்பத்தித் துறைகளில், நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு முக்கியமாக பிளாஸ்மா எச்சிங் வாயு மற்றும் எதிர்வினை குழி சுத்தம் செய்யும் முகவராகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
ஹைட்ரஜனுடன் வினைபுரிந்து ஒரு நொடியில் அதிக அளவு வெப்பத்தை வெளியிடுவதன் மூலம் அதன் பயன்பாட்டை அடைய அதிக ஆற்றல் கொண்ட இரசாயன லேசர்களிலும் இதைப் பயன்படுத்தலாம். நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு உயர் ஆற்றல் எரிபொருளாகவும், ராக்கெட் ஏவுதலில் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் உந்துசக்தியாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.